В процессе производства повреждение пассивационной пленки ячейки PERC и различные дефекты EL привели к серьезному снижению выхода. В этой статье рассматриваются некоторые решения по оптимизации с помощью производственного процесса, оборудования и управления производством ячейки PERC.

1PERC клетка и обычные клетка

Обычные батареи используют обычную структуру ячеек с тыловым полем (BSF), которая имеет присущие ей ограничения, и по мере увеличения эффективности ячеек ограничения становятся более очевидными. Применительно к BSF клетка Металлоалюминиевая пленка заднего поля не может снизить скорость рекомбинации на задней стороне, например, ниже 200 см / с. Только 60% -70% инфракрасного излучения металлического алюминиевого заднего слоя может быть отражено обратно.

Для ячейки PERC, использующей технологию PERC, требуется решение для пассивации задней стороны на основе обычной технологии заднего поля (BSF). В конкретной реализации необходимо нанести пленку для пассивации задней стороны, а затем на пленке прорезают канавки для достижения заднего контакта. Прикрепляя слой диэлектрической пассивации к задней стороне клетка , фотоэлектрические потери могут быть уменьшены и клетка эффективность может быть улучшена.

2PERC клетка Анализ дефектов EL

2.1 Локальные царапины

В ПЕРК клетка подготовительный проект, локальные царапины неизбежны. Для пассивирующей пленки с очень хорошей задней поверхностью царапины вызывают локальное снижение скорости рекомбинации задней поверхности. Эти царапины могут не влиять на общую эффективность, но с точки зрения EL-фотографий будут царапины и тени, которые классифицируются как бракованная продукция. Некоторые предприятия могут иметь от 20% до 30% бракованной EL-продукции из-за царапин. Причина царапин связана с разбиванием пленки во время процесса, работой рабочего, работой технологического оборудования и т. д., чего трудно избежать.

2.2 Технологическое загрязнение

В ПЕРК клетка проект подготовки, клетка не очищена, присоска соприкасается, планка соприкасается, корзина соприкасается, человек соприкасается, пыль загрязнена и т.п.

Анализ причин дефектов EL в 3PERC клетка

3.1 ПЕРС клетка технологическое и сопутствующее оборудование

Основной процесс PERC клетка включает в себя следующие аспекты:

Первый - это разрезать повреждение и кашемир, чтобы сформировать золотую замшу. Основное оборудование, используемое в этом процессе, - это флис типа лотка Jiejia Chuangsheng;

Второе - диффузия для создания PN-перехода. Оборудование, задействованное в этом процессе, - это диффузионная печь Tempres, автоматизация R2D, диффузионная печь низкого давления Jiejiachuang;

Третий этап — травление кромок и дефосфорация кремниевого стекла, для этой части требуется инструмент: травильная машина SCHMID, автоматический инструмент перемещения SCHMID;

Четвертый этап: обратная пассивация наносит пленку оксида алюминия и пленку нитрида кремния на обратную сторону кремниевой пластины. Для этой части требуется машина для нанесения покрытия MeyerBurger's one-piece machine и автоматизированный инструмент Robote;

Пятый — осаждение пленки нитрида кремния на лицевой стороне PECVD. Основные инструменты, используемые в этом процессе, включают CT tube coater и автоматизацию Baumann.

В-шестых, заднее лазерное отверстие реализует частичный контакт между задней пастой и кремниевым материалом, и этот процесс используется как лазерный инструмент Dier;

Семь — это трафаретная печать, в этом процессе используется печатная машина ASYS;

Восьмой этап — это процесс сушки, спекания, светового отжига, в этом процессе используется печь для спекания и отжига Despatch; девятый этап — это анализ испытаний, основными приборами являются сортировочная машина ASYS и испытательная машина BERGER.

3.2 Основные причины появления царапин и загрязнений

Благодаря анализу практики и эксплуатации можно узнать, что PERC клетка поцарапан и загрязнен:

Обработка кашемира: неполные повреждения, остатки чистки, контакт с персоналом, загрязнение при сушке, загрязнение пылью, масляные пятна и т. д.; вставки,

Процесс перемотки: контакт с лентой, контакт с стержнем, контакт с цветочной корзиной, контакт с персоналом, загрязнение пылью и т. д.;

Процесс диффузии: трение между вакуумным листом, гнездом для карты-лодочки и кремниевой пластиной; процесс травления: царапины от роликов, остатки чистки, контакт с лентой, контакт с направляющей планкой, контакт с цветочной корзиной, контакт с персоналом, высыхание загрязнений, пылевое загрязнение, масляные пятна и т. д.;

Процесс обратной пассивации: контакт с присоской, контакт с ремнем, контакт с направляющей планкой, контакт с цветочной корзиной, контакт с персоналом, загрязнение пылью и т. д.;

Процесс PECVD: контакт с присоской, контакт с ремнем, контакт с направляющей планкой, контакт с цветочной корзиной, контакт с лодкой, контакт с персоналом, загрязнение пылью и т. д.;

Процесс лазерного сверления: контакт с присоской, контакт с ремнем, контакт с направляющей штангой, контакт с цветочной корзиной, загрязнение пылью, контакт с персоналом и т. д.;

Трафаретная печать: контакт с лентой, контакт с планкой, контакт с цветочной корзиной, контакт с персоналом, загрязнение пылью, загрязнение шламом и т. д.;

Процессы сушки, спекания и отжига: контакт с персоналом, загрязнение пылью, загрязнение печной ленты, загрязнение маслом и т. д.; анализ испытаний: контакт с присоской, контакт с лентой, контакт с направляющей планкой, контакт с персоналом, загрязнение пылью и т. д. Короче говоря, основными причинами царапин и загрязнений можно назвать факторы процесса, факторы оборудования и факторы персонала.

4Исследования мер по снижению дефекта EL PERC клетка

При обнаружении дефектов ПЭ в батареях PERC необходимо проанализировать конкретные проблемы и принять целенаправленные меры.

1. Неполное повреждение к повреждению, строгий контроль работы по проверке исходных кремниевых пластин, сокращение притока сильно дефектных пластин; оптимизация соотношения химической жидкости и времени процесса, а также устранение повреждений пластин.

2. При наличии дефектов в виде царапин на роликах регулярно проверяйте износ конической шестерни, положение верхних и нижних роликов, герметичность подвижных частей ролика, при необходимости своевременно проводите техническое обслуживание и ремонт; регулярно проверяйте и оптимизируйте положение компонентов направляющего колеса.

3. В плане остаточной очистки: оптимизируйте расход распыления в баке очистки; регулярно очищайте фильтр бака.

4. Для контакта с лентой: протравьте заготовку, чтобы установить флиппер, чтобы уменьшить контакт между задней частью пластины и лентой; регулярно проверяйте положение пластины в коробке, положение датчика, уменьшайте трение между ремнем и пластиной; регулярно очищайте, улучшайте ленту, уменьшайте загрязнение ленты кремниевым порошком, шламом.

5. Контакт направляющей полосы: оптимизация положения проводника, снижение частоты контакта кремниевой пластины; регулярная очистка, снижение загрязнения проводника кремниевым порошком, суспензией; регулярная замена износостойкой ленты для снижения трения с кремниевой пластиной.

6. Контакт с цветочной корзиной: регулярно очищайте цветочную корзину, чтобы уменьшить ее загрязнение; регулярно оптимизируйте автоматическое положение, уменьшайте трение между пластиной и корзиной; регулярно проверяйте размер корзины и своевременно очищайте деформированную цветочную корзину.

7. Контакт присоски: Регулярно очищайте присоску, чтобы уменьшить ее загрязнение; регулярно оптимизируйте автоматическое положение, чтобы уменьшить трение между присоской и кремниевой пластиной.

8. Контакт с лодочкой: Регулярно очищайте графитовую лодочку и рамку, чтобы уменьшить загрязнение присоски; регулярно оптимизируйте автоматическое положение и уменьшайте трение между графитовой лодочкой, рамкой и кремниевой пластиной.

9. Контакт с персоналом: усилить управление производственной линией, исключить попадание всех контактирующих деталей и окрашенных листов в следующий процесс; усилить управление операциями и уменьшить образование царапин и пятен на кремниевых пластинах, вызванных работой и осмотром персонала.

10. Загрязнение при сушке: Регулярно очищайте сухую зону от мусора, чтобы уменьшить загрязнение пылью; регулярно заменяйте фильтрующий элемент, очищайте трубу, воздушный нож, ролик и т. д.

11. Загрязнение печной ленты: Регулярно очищайте печную ленту, уменьшайте загрязнение дорожного масла; регулярно проверяйте деформацию дорожной ленты, регулируйте и заменяйте ее в любое время.

12. Загрязнение пылью: После травления кремниевая пластина транспортируется в процессе обратной пассивации, чтобы уменьшить загрязнение кремниевой пластины во время транспортировки; кремниевая пластина с обратной пассивацией не хранилась и должна храниться в герметичном шкафу с постоянной температурой, избыточным давлением азота, и время хранения не должно быть слишком длительным; интегрированная машина для нанесения покрытия должна тщательно и полностью обслуживаться, чтобы избежать задержки пыли в камере; усилить управление цехом, уменьшить количество частиц пыли в воздухе в цехе и обеспечить чистоту и соответствие требованиям.

5 Заключение

Чтобы уменьшить ущерб от PERC клетка пассивирующая пленка и различные дефекты EL, PERC клетка Производственный процесс должен начинаться с деталей, через формулирование подробного, совершенного, научного плана процесса, управления оборудованием, системы обслуживания, а также работы персонала и процесса. Подробное, строгое управление и эффективное исполнение, и, наконец, гарантировать, что процесс производства ячеек PERC, производственное оборудование, стандартизация производственной среды, стабилизация и чистота могут быть реализованы.